金刚石(Diamand),常称钻石,其性能优异,应用广泛。
人造金刚石技术包括高温高压(HTHP)法和化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition 简称CVD)法。
CVD金刚石沉积方法包括:热丝 CVD 法(Hot Filament CVD,简称HFCVD)、
微波等离子体 CVD 法(MWPCVD)、
直流等离子体喷射 CVD 法(DCPJCVD) 等。
MWPCVD法设备复杂,成本高,尺寸受限,
但其膜层质量优异,一般为透明色,
主要应用于光学、电子、人造钻石等高端领域。
HFCVD法由于设备较简单、成本较低廉、可进行大规模工业化生产,
其膜层质量一般,呈黑色,主要应用其硬度及耐磨性。
久钻科技具有HFCVD和MWPCVD两种制备设备,并熟练掌握其制备技术。
采用热丝CVD(即HFCVD)设备制备金刚石涂层产品,
其方法是采用金属丝作为热源,通入活性气体,
在真空条件下当热丝温度达到2000℃左右时,
含氢气体在高温下发生热分解,
在工件基底上先沉积生长一层微米晶金刚石,增强膜层和基底结合力,
然后继续沉积生长一层纳米晶金刚石,改善图层表面结构,降低表面粗糙度。